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                ARTICLE/ 技術(shù)文章
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                來談?wù)凜F4泄漏檢測的七個基本要素

                更新時間:2021-01-11瀏覽:2511次
                  CF4泄漏檢測基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜檢測技術(shù),結(jié)合量子級聯(lián)激光(QCL)光源,可對CF4的中紅外基本光譜吸收峰進行研究。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年,從而大大減低了總體持有成本。
                  高靈敏度的CF4泄漏檢測可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測可以確保長期的高穩(wěn)定性。準確,可靠且維護成本低的潔凈室污染控制,快速的響應(yīng)時間以捕獲濃度的突然增加,獨立的操作系統(tǒng),內(nèi)置的氣體交換泵,無消耗品或化學試劑,光路短,單點校準也可達到一定動態(tài)范圍,直接吸收測量,無漂移,高選擇性,并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
                 

                CF4泄漏檢測

                  1、響應(yīng)時間:取決于用戶定義的通道積分時間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)置,它從10秒到幾分鐘不等。
                  2、監(jiān)測下限:小于0.1ppb。
                  3、動態(tài)范圍:大于5個數(shù)量級(檢測下限的100,000倍)。
                  4、重復(fù)性:在操作條件下,校準濃度的重復(fù)性小于1%。
                  5、精度:校準濃度高于5%,這受校準氣體精度的限制。
                  6、溫度穩(wěn)定性:CF4泄漏檢測不會由于工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化而引起漂??移。
                  7、壓力穩(wěn)定性:樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會引起漂移。
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